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P: Plasmaphysik

P 12: Entladungen II

P 12.3: Vortrag

Donnerstag, 18. März 1999, 12:30–12:45, ZO 2

Wer sind die Feinde negativer Sauerstoff-Ionen ? — •E. Quandt, H.-M. Katsch, A. Goehlich, T. Kawetzki und H.F. Döbele — Institut für Laser- und Plasmaphysik, Universität GH Essen, Universitätsstr.5, 45117 Essen

genau einmal Wie am Beispiel einer 13,56 MHz-Radiofrequenzentladung in Sauerstoff (GEC-Reference-Cell mit kapazitiver Leistungseinkopplung) gezeigt wird, können negative Ionen einen erheblichen Einfluß auf die Struktur reaktiver Molekülplasmen haben. Während bei dieser Entladungsform der Bildungsmechanismus der negativen Sauerstoff-Ionen als weitgehend verstanden anzusehen ist, sind bezüglich ihres Vernichtungsmechanismusses zwei unterschiedliche Reaktionen in der Diskussion: der Stoß mit atomarem Sauerstoff und der Stoß mit metastabil angeregten Sauerstoffmolekülen. Durch periodisches Pulsen der RF-Entladung und Untersuchung des Zeitverhaltens der verschiedenen Spezies in der Ein- und Abschaltphase der Entladung kann der Stoß mit metastabilen Molekülen als der hauptsächliche Verlustprozeß für O⁻-Ionen identifiziert werden. Als diagnostische Methoden werden Photodetachment negativer Ionen mit Elektronennachweis mittels Langmuir-Sonde, die Zwei-Photonen-Laserinduzierte Fluoreszenzspektroskopie sowie die Emissionsspektroskopie eingesetzt.
Das Vorhaben wird von der DFG im Rahmen des SFB 191 gefördert.