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09:30 |
DS 33.1 |
Untersuchungen zum Energieeinstrom bei der a-C:H-Schichtabscheidung — •D. Rohde, H. Kersten, P. Pecher, W. Jacob und R. Hippler
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DS 33.2 |
Untersuchungen zum Energie- und Teilcheneinstrom auf das Substrat bei der Abscheidung von Al-Schichten in einer ECWR-Entladung — •V. Vartolomei, H. Steffen, F. Herrmann und R. Hippler
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09:30 |
DS 33.3 |
Reaktionsprodukte auf Cu mikrostrukturiert durch lichtstimuliertes Trockenätzen mit Cl2 im Vakuumultraviolett — •H. Raaf, M. Groen und N. Schwentner
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09:30 |
DS 33.4 |
Winkelaufgelöste elastische Lichtstreuung zur Morphologiebestimmung von In auf GaAs(001) — •M Bastian, A.M. Frisch, K. Hinrichs, N. Esser und W. Richter
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09:30 |
DS 33.5 |
Charakterisierung ultradünner Schichten mittels XPS im Bereich externer Totalreflexion — •Th. Eickhoff, W. Drube und G. Materlik
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09:30 |
DS 33.6 |
Phasenanalyse an WNx-Schichten mittels Elektronenbeugung — •St. Liebert, W. Gruenewald, J. Baumann und M. Hietschold
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DS 33.7 |
Untersuchung plasmagestützt abgeschiedener ITO-Schichten mittels GIXR und GIXRD — •Marion Quaas, Hartmut Steffen und Harm Wulff
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09:30 |
DS 33.8 |
In situ Messung mechanischer Spannungen in dünnen Schichten während der Abscheidung — •Wolfgang Fukarek, Clemens Fitz und Wolfhard Möller
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09:30 |
DS 33.9 |
Untersuchungen von im Mikrowellenplasma behandelten Al-Filmen mit GIXR und GIXRD — •Antje Quade und Harm Wulff
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09:30 |
DS 33.10 |
Brillouin-Lichtstreuung zur Bestimmung der elastischen Konstanten dünner BN und ternärer BN:C Schichten — •T. Wittkowski, P. Cortina, J. Jorzick, K. Jung und B. Hillebrands
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09:30 |
DS 33.11 |
FTIR in-situ-Diagnostik des c-BN Wachstums auf Silizium und Hartmetall — •P. Scheible, L. Ulrich und A. Lunk
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DS 33.12 |
Simulation von in situ IR-Reflexionsspektren zur quantitativen Analyse von c-BN Schichten — •L. Ulrich, P. Scheible und A. Lunk
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DS 33.13 |
Untersuchungen zum Einbau und zur Diffusion von Wasserstoff in Diamant — •C. Haug, J. Portmann und R. Brenn
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09:30 |
DS 33.14 |
Untersuchungen zur Aufskalierung der Prozeßbedingungen für die Abscheidung von kubischem Bornitrid — •M. Hock, A. Neuffer und A. Lunk
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09:30 |
DS 33.15 |
Epitaktisches Wachstum von Iridiumschichten auf SrTiO3
(001)–Oberflächen — •F. Hörmann, H. Roll, M. Schreck und B. Stritzker
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09:30 |
DS 33.16 |
Charakterisierung hochgeordneter Multischichten von Perylenderivaten auf Ag(110) — •A. Schäfer, C. Seidel und H. Fuchs
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DS 33.17 |
Strukturelle Veränderungen in laserdeponierten Fe/Al Multischichten durch Ionenstrahlmischen und thermische Behandlung — •J. Noetzel, H. Geisler, A. Gorbunov, A. Tselev, K. Brand, M. Lehmann, A. Mücklich, M. Dobler, E. Wieser und W. Möller
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09:30 |
DS 33.18 |
Nahfeldverstärktes Atomlagenthermosäulen-Signal in c-Achsen-orientierten YBaCuO-Schichten — •E. Zepezauer, A. Kalbeck, Th. Zahner und W. Prettl
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09:30 |
DS 33.19 |
Ionenstrahlinduzierte Strukturbildung im System Co/Cu — •J. Noetzel, A. Handstein, A. Gorbunov, A. Tselev, A. Mücklich, F. Prokert, E. Wieser und W. Möller
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09:30 |
DS 33.20 |
Untersuchungen zur Grenzflächenrauhigkeit in Ti/C und Mo/Si Multilayern — •A. Aschentrup, F. Hamelmann, G. Haindl, I. Kolina, U. Kleineberg, E. Majkova, A. Anopchenko, M. Jergel, S. Luby und U. Heinzmann
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09:30 |
DS 33.21 |
Herstellung von Metall / Silizium Multischichten mittels Plasma-Enhanced MOCVD — •Frank Hamelmann, G. Haindl, J. Hartwich, A. Klipp, E. Majkova, U. Kleineberg, P. Jutzi und U. Heinzmann
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09:30 |
DS 33.22 |
Einfluß der Depositionsparameter auf die elektronischen Eigenschaften von gesputterten W- und W/a-Si:H-Multischichten — •Hans-Martin Latuske, F. Klabunde, M. Löhmann und T. Drüsedau
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DS 33.23 |
Temperaturabhängige Raman- und Depolarisationsmessungen an α-6T LEDs — •C. Bauer, A. Groß, J. Laubender, M. Sokolowski, E. Umbach, V. Wagner und J. Geurts
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DS 33.24 |
Grenzflächeneigenschaften von Metalloxid / SAM - Schichtsystemen: Röntgenreflektivitätsmessungen — •K.-P. Just, F. Schreiber, J. Wolff, T. Niesen, F. Aldinger und H. Dosch
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DS 33.25 |
Pulsed Force Rasterkraftmikroskopie: Charakterisierung von lateral strukurierten Si-Oberflächen mittels Mikrokontaktdruck-Technik — •P. Barth, H.-U. Krotil, S. Hild und O. Marti
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DS 33.26 |
Mechanische Spannungen in Phasenwechselmedien — •P. Franz, I. Friedrich, W. Njoroge, V. Weidenhof und M. Wuttig
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DS 33.27 |
In-situ Messung der mechanischen Spannung beim Wachstum amorpher Fe100−xZrx Schichten — •A. Grob, U. Herr und K. Samwer
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DS 33.28 |
Optische Sensoren für Dünnschichtsysteme — •T. Rehrmann und W. Theiss
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DS 33.29 |
Charakterisierung und Optimierung des Schaltverhaltens gasochromer WOx-Schichten — •G. Thissen, H. Weis und M. Wuttig
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DS 33.30 |
Untersuchung und Optimierung von schaltbaren Spiegeln auf der Basis von Metallhydriden — •M. Beckers, H. Weis und M. Wuttig
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DS 33.31 |
Optimierung der Reflexionsschicht in optischen Datenspeichern — •H.-W. Wöltgens, I. Friedrich, M. Wuttig und W. Theiss
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DS 33.32 |
Charakterisierung der minimalen Schreib- und Löschzeiten des Phasenmechselmediums Ge2Te5Sb2 — •S. Ziegler, V. Weidenhof, S.-J. You, I. Friedrich und M. Wuttig
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09:30 |
DS 33.33 |
Einfluß der Substratgrenzfläche auf die dynamische Leitfähigkeit dünner Fe-Filme auf Si(111)(7x7) — •V. Greim, S. Ulrich, G. Fahsold und Annemarie Pucci
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DS 33.34 |
Optische und elektrische Charakterisierung von p-Typ mikrokristallinem Silizium — •G. Grabosch, D. Borchert, R. Hussein und W. R. Fahrner
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09:30 |
DS 33.35 |
EELS und XPS-Untersuchungen an Ga1−xAlxN (0 ≤ x ≤ 1) — •W. Niessner, I. Österreicher, S. Fischer, D.M. Hofmann und B.K. Meyer
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09:30 |
DS 33.36 |
Infrarotspektroskopische Untersuchung des Wachstums dünnster Eisenfilme in Abhängigkeit von der Substrattemperatur — •N. Magg, O. Krauth, G. Fahsold und Annemarie Pucci
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09:30 |
DS 33.37 |
Anwendung neuronaler Netze zur Auswertung von Dünnschichtspektren — •Steffen Wilbrandt, Ralf Petrich, Olaf Stenzel und D.R.T. Zahn
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09:30 |
DS 33.38 |
A statistical approach for interpreting the optical extinction spectra of metal island films — •A.N. Lebedev, O. Stenzel, M. Schreiber, and D.R.T. Zahn
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09:30 |
DS 33.39 |
Nanoscale characterization and switching of ferroelectric thin films — •C. Harnagea, A. Pignolet, M. Alexe, K.M. Satyalakshmi, St. Senz, D. Hesse, and U. Gösele
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09:30 |
DS 33.40 |
Epitaxial BaBi4Ti4O15 - LaNiO3 thin film heterostructures — •A. Pignolet, K.M. Satyalakshmi, M. Alexe, St. Senz, D. Hesse, and U. Gösele
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09:30 |
DS 33.41 |
HRTEM and resistivity investigations on structure-property correlations in PLD-grown epitaxial SrRuO3 films on SrTiO3(001) — •N.D. Zakharov, K.M. Satyalakshmi, D. Hesse, and G. Koren
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09:30 |
DS 33.42 |
Transporteigenschaften von gesputterten halbleitenden β−FeSi2-Schichten — •H. Grießmann, D. Elefant, J. Schumann und A. Heinrich
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DS 33.43 |
Struktur, Phasenbildung und thermoelektrische Transporteigen- schaften dotierter IrxSi1−x-Dünnschichtproben (0.3<x<0.4) — •A. Heinrich, R. Kurt, W. Pitschke, J. Schumann, H. Grießmann und K. Wetzig
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DS 33.44 |
Untersuchung metallischer Nanodrähte im AFM — •F. Müller, A.-D. Müller und G. Schmid
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09:30 |
DS 33.45 |
Einfluß von Si02 auf die Silicidreaktion von Co/Ti Doppelschichten mit Si(100) — •Heiko Hortenbach, Meiken Falke, Dilip Kumar Sarkar, Gunter Beddies, Steffen Teichert und Hans-Jürgen Hinneberg
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09:30 |
DS 33.46 |
Herstellung und Untersuchung von MnSi1,73 in Si (001) — •Stefan Schwendler, Dilip Kumar Sarkar, Henning Giesler, Meiken Falke, Steffen Teichert und Hans-Jürgen Hinneberg
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09:30 |
DS 33.47 |
Solid Phase Reaction of Co on Si/Si1−xGex/Si Heterostructures — •Ingolf Rau, Stefan Schwendler, Dilip Kumar Sarkar, Meiken Falke, Gunter Beddies, Steffen Teichert, and Hans-J"urgen Hinneberg
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DS 33.48 |
Leitfähigkeits- und Suszeptibilitätsmessungen von Sn-Schichten auf III-V-Halbleitern — •Iris Didschuns, Anna-Maria Frisch, Karsten Fleischer, Norbert Esser, Klaus Lüders und Wolfgang Richter
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DS 33.49 |
Untersuchungen zur Lichtbogenablation im Gas in einer gepulsten Entladungszelle — •S. Sievers, A. Usoskin und H.C. Freyhardt
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