Münster 1999 – wissenschaftliches Programm

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DS: Dünne Schichten

DS 6: Harte Schichten II

Montag, 22. März 1999, 17:45–18:30, PC 7

	17:45	DS 6.1	Fachvortrag: Herstellung dicker kubischer Bornitridfilme mittels zyklischer Deposition und Entspannung durch Ionenbestrahlung — •P. Widmayer, B. Heinz, H.-G. Boyen und P. Ziemann
	18:00	DS 6.2	Fachvortrag: Bestimmung des Spannungstensors von cBN-Schichten auf Silizium — •W. Donner, A. Rühm, B. Nickel, P. Scheible, A. Lunk und H. Dosch
	18:15	DS 6.3	Fachvortrag: Präparation und Untersuchung der elastischen Eigenschaften dünner h-BN Schichten — •T. Wittkowski, J. Jorzick, K. Jung und B. Hillebrands