Münster 1999 – scientific programme
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DS: Dünne Schichten
DS 6: Harte Schichten II
Monday, March 22, 1999, 17:45–18:30, PC 7
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17:45 | DS 6.1 | Fachvortrag: Herstellung dicker kubischer Bornitridfilme mittels zyklischer Deposition und Entspannung durch Ionenbestrahlung — •P. Widmayer, B. Heinz, H.-G. Boyen und P. Ziemann |
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18:00 | DS 6.2 | Fachvortrag: Bestimmung des Spannungstensors von cBN-Schichten auf Silizium — •W. Donner, A. Rühm, B. Nickel, P. Scheible, A. Lunk und H. Dosch |
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18:15 | DS 6.3 | Fachvortrag: Präparation und Untersuchung der elastischen Eigenschaften dünner h-BN Schichten — •T. Wittkowski, J. Jorzick, K. Jung und B. Hillebrands |