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Münster 1999 – wissenschaftliches Programm

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M: Metallphysik

M 25: Symposium „Metallphysikalische Probleme in der Mikroelektronik “

M 25.5: Vortrag

Donnerstag, 25. März 1999, 17:30–17:45, S 8

Anelastische Eigenschaften von Aluminiumschichten auf Silizium bei hohen Temperaturen. — •Ulrich Harms1, Frank Klose1, Hartmut Neuhäuser1, Klaus Fricke2 und Andreas Schlachetzki21Institut für Metallphysik und Nukleare Festkörperphysik, TU-Brauschweig; Mendelssohnstr. 3; 38106 Braunschweig — 2Institut für Halbleitertechnik, TU-Brauschweig; Hans Sommer Str. 66; 38106 Braunschweig

Mit der Vibrating Reed Technik wurden Aluminiumschichten auf Silizumsubstrat untersucht. Die Kombination von Biege- und Torsionsschwingungen (im Frequenzbereich von 100 Hz bis 10 kHz) erlaubt eine Trennung der Dämpfung für den Schermodul und den biaxialen Modul der Schicht. Die Amplitudenabhängigkeit wurde bis zu Dehnungen von 10−4 untersucht. Besonders bei dünnen Schichten (unter 200 nm) tritt neben der Dämpfung durch Korngrenzengleiten (Peak bei ca. 370 K) ein weiteres Maximum in der Dämpfung bei ca. 600 K auf.

(Gefördert im Graduiertenkolleg der TU-BS und PTB-Braunschweig.)

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