Münster 1999 – wissenschaftliches Programm
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VA: Vakuumphysik und Vakuumtechnik
VA 1: Vakuumpumpen
Montag, 22. März 1999, 10:00–12:10, ZH
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10:00 | VA 1.1 | Fachvortrag: Verbesserungen in Halbleiterprozessen durch die richtige Wahl von Vorvakuumpumpen und durch die Optimierung der Vorvakuum Rohrleitung — •Peter Reimer, D. Smith, and P. Sabouri |
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10:30 | VA 1.2 | Fortschritte auf dem Gebiet der Membran-/Vorvakuumpumpen — •Dipl.-Ing. Erwin Hauser |
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10:50 | VA 1.3 | Experimentelle Untersuchungen zur Bestimmung der Reibleistung von Argon und Helium im Druckbereich von 10−3...10−1 mbar bei einer Temperatur von 330K — •F. J. Schittko, Ch. Beyer, J. Brezina, H. Englaender und I. Seckel |
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11:10 | VA 1.4 | Die Anpassung von Gewindestufen an die Turbostufen einer Compound-Molekularpumpe — •P. Klingner, Ch. Beyer und H. Englaender |
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11:30 | VA 1.5 | Saugvermögensmessung von Turbomolekularpumpen mittels Behälterevakuierung — •W. Jitschin |
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11:50 | VA 1.6 | Saugvermögen für Wasserstoff und Edelgase an Aktivkohlepanels in Kryopumpen — •Christian Day |