Münster 1999 – scientific programme

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VA: Vakuumphysik und Vakuumtechnik

VA 2: Vakuumverfahrenstechnik I

Monday, March 22, 1999, 14:00–15:20, ZH

	14:00	VA 2.1	Invited Talk: Was kommt nach der optischen Lithographie? — •Wilhelm Br"unger
	14:40	VA 2.2	Invited Talk: Nanolithographie — •Heinrich Kurz