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VA: Vakuumphysik und Vakuumtechnik
VA 2: Vakuumverfahrenstechnik I
Montag, 22. März 1999, 14:00–15:20, ZH
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14:00 | VA 2.1 | Hauptvortrag: Was kommt nach der optischen Lithographie? — •Wilhelm Br"unger |
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14:40 | VA 2.2 | Hauptvortrag: Nanolithographie — •Heinrich Kurz |