Bonn 2000 – scientific programme
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P: Plasmaphysik
P 10: Magnetischer Einschluss II
P 10.2: Talk
Wednesday, April 5, 2000, 09:30–09:45, HS V
Laserdiagnostik von Energieverteilungen von Atomen und Molekülen bei der physikalischen Zerstäubung — •A. Goehlich, D. Gillmann und H.F. Döbele — Institut für Laser- u. Plasmaphysik , Universität GH-Essen, Universitätsstr. 2-5, 45117 Essen
Die Wechselwirkung energetischer Ionen mit
Festkörperoberflächen spielt bei der
Plasma-Wand-Wechselwirkung z.B. in Fusionsexperimenten sowie
in technologischen Anwendungen eine wichtige Rolle. In diesem
Beitrag wird über neue Ergebnisse von Experimenten zur
Bestimmung von Energieverteilungen abgestäubter Atome und
Moleküle berichtet, u.a. über LIF-Experimente zur
Untersuchung von Anisotropieeffekten bei der Zertstäubung.
In diesem Fall werden Metalltargets mit Edelgasionen im
unteren keV Bereich beschossen und die Energieverteilungen
winkelabhängig vermessen. Die Form der Energieverteilung
hängt beim niederenergetischen Beschuß von den
gewählten Beschußbedingungen ab und kann Aufschluß
über Details des Zerstäubungsmechanismus geben. Ferner
werden Flugzeit-Messungen von Zerstäubungsprodukten oxidierter
Metalloberflächen durch resonante Ionisationspektroskopie
vorgestellt. Flugzeitverteilungen von Atomen (z.B. atomarer
Sauerstoff) und Metalloxidmolekülen werden auf diese Weise
bestimmt. Es zeigen sich deutliche Unterschiede zwischen den
Energieverteilungen von Grundzustandsteilchen und Metastabilen.