Regensburg 2000 – wissenschaftliches Programm

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DS: Dünne Schichten

DS 15: Plasma- und Ionentechniken I

Dienstag, 28. März 2000, 09:30–10:15, H32

	09:30	DS 15.1	Hauptvortrag: Teilchen- und Energieflüsse bei der Sputter-Deposition: Effekte zur Textur und Nanoporosität dünner Schichten — •T. Drüsedau, T.-M. John, F. Klabunde, M. Löhmann, H.-M. Latuske und J. Bläsing