Regensburg 2000 – wissenschaftliches Programm

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DS: Dünne Schichten

DS 18: Plasma- und Ionentechniken IV

Dienstag, 28. März 2000, 15:00–15:45, H32

	15:00	DS 18.1	Hauptvortrag: Bogenbeschichtung in der Mikroelektronik - neue Technologie oder Illusion? — •Peter Siemroth, Jan Berthold, Thomas Schuelke, Thomas Witke und Ottmar Zimmer