Regensburg 2000 – scientific programme

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DS: Dünne Schichten

DS 18: Plasma- und Ionentechniken IV

Tuesday, March 28, 2000, 15:00–15:45, H32

	15:00	DS 18.1	Invited Talk: Bogenbeschichtung in der Mikroelektronik - neue Technologie oder Illusion? — •Peter Siemroth, Jan Berthold, Thomas Schuelke, Thomas Witke und Ottmar Zimmer