Regensburg 2000 – wissenschaftliches Programm

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DS: Dünne Schichten

DS 38: Postersitzung

DS 38.29: Poster

Dienstag, 28. März 2000, 09:30–17:30, Poster B

Laserdeposition von Nd₂Fe₁₄B - Filmen — •U. Hannemann, S. Fähler und L. Schultz — IFW Dresden, SFB 463, Institut für Metallische Werkstoffe, Helmholtzstr. 20, 01069 Dresden

In einigen Jahren wird bei konventionellen Materialien mit dem superparamagnetischen Limit eine Grenze für die Speicherdichte von Magnetspeichern erreicht. Zur weiteren Erhöhung der Speicherdichte benötigt man Materialien mit einer deutlich höheren Koerzitivfeldstärke, wie z.B. Nd₂Fe₁₄B. Für die Untersuchung der anisotropen magnetischen Eigenschaften von Nd₂Fe₁₄B eignen sich im besonderen texturierte Filme.
Mit dem Verfahren der gepulsten Laserdeposition wurden unter Verwendung von Reinelement- und Legierungstargets Nd₂Fe₁₄B-Filme hergestellt. Untersucht wurden die Einflüsse verschiedener Depositionsparameter (u.a. Substrat, Temperatur, Laserenergie). Präsentiert werden erste Ergebnisse von strukturellen, mikrostrukturellen und magnetischen Untersuchungen. Diese werden verglichen mit den Messungen an gesputterten Filmen.