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O: Oberflächenphysik
O 19: Epitaxie und Wachstum (IV)
O 19.12: Talk
Tuesday, March 28, 2000, 19:00–19:15, H36
Einfluß der Diffusion auf die Zerstäubung von W durch C — •Klaus Schmid — Max-Planck-Institut für Plasmaphysik, Boltzmannstraße 2, 85748 Garching bei München.
Messungen des Gewichtsverlustes bei der Zerstäubung von
Wolfram durch 2.4 keV C+ im Temperaturbereich zwischen 300K
und 1000K zeigen eine starke Temperaturabhängigkeit der
Gewichtsänderung. Dabei nimmt das Gewicht der Probe zunächst
mit der aufgebrachten C-Dosis ab und beginnt nach einer von der
Temperatur abhängigen Dosis wieder zu steigen.
Dies wird durch anfängliche W-Zerstäubung und
anschließendem Aufbau einer C-Schicht erklärt.
Das Wachstum dieser Schicht hängt dabei kritisch von der
C Diffusion in das Volumen ab. Der Verlauf der Gewichtsabnahme
konnte in einem Computercode simuliert werden, der den
Implantationscode TRIDYN mit dem Diffusionscode PIDAT koppelt.
Die verschiedenen Input-Parameter k*nnen direkter bestimmt
werden, wenn die Tiefenver-teilung des implantierten C direkt
bestimmt wird.
Zur Bestimmung der Tiefenprofile mittels He-Rückstreuung wurden
erh*hte Streuquerschnitte bei 5.7 und 9.2 MeV genutzt.
Durch Vergleich dieser Tiefenprofile mit Modellrechnungen können
die für die Diffusion wesentlichen Parameter genauer bestimmt
werden.