Regensburg 2000 – wissenschaftliches Programm

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O: Oberflächenphysik

O 19: Epitaxie und Wachstum (IV)

O 19.12: Vortrag

Dienstag, 28. März 2000, 19:00–19:15, H36

Einfluß der Diffusion auf die Zerstäubung von W durch C — •Klaus Schmid — Max-Planck-Institut für Plasmaphysik, Boltzmannstraße 2, 85748 Garching bei München.

Messungen des Gewichtsverlustes bei der Zerstäubung von

Wolfram durch 2.4 keV C+ im Temperaturbereich zwischen 300K

und 1000K zeigen eine starke Temperaturabhängigkeit der

Gewichtsänderung. Dabei nimmt das Gewicht der Probe zunächst

mit der aufgebrachten C-Dosis ab und beginnt nach einer von der

Temperatur abhängigen Dosis wieder zu steigen.

Dies wird durch anfängliche W-Zerstäubung und

anschließendem Aufbau einer C-Schicht erklärt.

Das Wachstum dieser Schicht hängt dabei kritisch von der

C Diffusion in das Volumen ab. Der Verlauf der Gewichtsabnahme

konnte in einem Computercode simuliert werden, der den

Implantationscode TRIDYN mit dem Diffusionscode PIDAT koppelt.

Die verschiedenen Input-Parameter k*nnen direkter bestimmt

werden, wenn die Tiefenver-teilung des implantierten C direkt

bestimmt wird.

Zur Bestimmung der Tiefenprofile mittels He-Rückstreuung wurden

erh*hte Streuquerschnitte bei 5.7 und 9.2 MeV genutzt.

Durch Vergleich dieser Tiefenprofile mit Modellrechnungen können

die für die Diffusion wesentlichen Parameter genauer bestimmt

werden.