Regensburg 2000 – wissenschaftliches Programm
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O: Oberflächenphysik
O 31: Nanostrukturen
O 31.3: Vortrag
Donnerstag, 30. März 2000, 16:45–17:00, H36
Herstellung hexagonal geordneter Diamant-Nanosäulen auf Diamant(100) — •Berndt Koslowski, Stefan Strobel, Thomas Herzog, Joachim Spatz, Martin Möller und Paul Ziemann — Universität Ulm, D-89069 Ulm
Wir berichten über erste Ergebnisse zur Herstellung von regelmäßig
angeordneten Diamant-Nanosäulen auf einem ultra-glatten Diamant(100)
Substrat. Hierzu wird auf Diamant-Substrate (Rauheit <100pmrms)
durch Ziehen aus einer Polymerlösung eine einzelne
Monolage von HAuCl4-beladenen Mizellen präparieren. Dabei
ordnen sich die Mizellen entsprechend ihrem Durchmesser von ca. 80nm an.
Die Polymermatrix wird in einem Sauerstoff-Plasma verascht, wobei
gleichzeitig das Goldsalz zu metallischem Gold reduziert wird. Es
entstehen hexagonal angeordnete Au-Nanoinseln von 10nm Durchmesser,
die als Ätz-Maske genutzt werden können. Während die freie
Diamantoberfläche im O-Plasma abgetragen wird, bleiben die durch das Gold
geschützten Anteile stehen. Abschließend werden die
Au-Kappen durch Verdampfen entfernt und es bleiben hexagonal
geordnete 10-20nm hohe Diamant-Nanosäulen mit Durchmesser
10nm und einer Dichte von 1010-1011cm−2 übrig.
Wir charakterisieren den Prozeß mittels AFM und RBS
und diskutieren die Grenzen dieser Lithographie-Technik.