Regensburg 2000 – wissenschaftliches Programm
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TT: Tiefe Temperaturen
TT 25: HF-Anwendungen
TT 25.6: Vortrag
Freitag, 31. März 2000, 12:15–12:30, H19
Gesputterte SrTiO3-Dünnschichten für die Anwendung in Mikrowellenbauelementen — •M. Adam, D. Fuchs und R. Schneider — Forschungszentrum Karlsruhe GmbH, Institut für Festkörperphysik, Postfach 3640, D-76021 Karlsruhe
Die relative Dielektrizitätskonstante εr von SrTiO3 (STO) lässt sich durch das Anlegen eines elektrischen Feldes variieren. Dieses Verhalten kann für die Realisierung von elektronischen Bauelementen wie z. B. durchstimmbare Mikrowellenfilter genutzt werden. Hierzu wurden die dielektrischen Eigenschaften von STO-Schichten in Abhängigkeit von Temperatur und elektrischer Feldstärke im Frequenzbereich zwischen 100 Hz und 100 kHz an Schichtkondensatoren sowie von 50 MHz bis 18 GHz an koplanaren Phasenschiebern und Resonatoren untersucht. Die notwendigen Schichtfolgen aus STO, YBa2Cu3O7−δ und Gold wurden in situ durch Kathodenzerstäubung mit einem invertierten Zylindermagnetron auf LaAlO3-Substrate aufgebracht.