Hamburg 2001 – wissenschaftliches Programm
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DS: Dünne Schichten
DS 31: Postersitzung
DS 31.58: Poster
Dienstag, 27. März 2001, 16:30–17:30, Foyer Saal 4
Übergangsschichten in den mittels der PLD im Vakuum hergestellten metallischen Doppelschichten — •Alexander Tselev1, Andre Gorbunov1, Wolfgang Pompe1 und Karin Brand2 — 1Institut für Werkstoffwissenschaft, TU-Dresden, 01062 Dresden — 2Institut für Angewandte Physik, TU-Dresden, 01062 Dresden
Konzentrationsprofile der Übergangsschichten (ÜS) in den mittels der PLD im Vakuum hergestellten Doppelschichten Fe/Al wurden untersucht. Eine semiquantitative Analyse wird dabei eingesetzt, die auf den Ergebnissen der HRTEM und den Monte-Carlo-Simulationen basiert. Es wurde festgestellt, dass die Konzentrationsprofile der Übergangsschichten von Al-auf-Fe und Fe-auf-Al Doppelschichten eine asymmetrische Form haben. Die Zusammensetzung ändert sich relativ abrupt auf der Substratseite des Profils, es ist jedoch ein Ausläufer des unten liegenden Materials in das Material der oberen Schicht hinein vorhanden. Die Länge dieses Ausläufers kann mehr als 10 nm erreichen. Solch eine Form des Konzentrationsprofils ist höchstwahrscheinlich ein Resultat ballistischer Effekte. Eine Methode wird vorgeschlagen, die es ermöglicht, die Dicke der ÜS mit einem Schwingquaz-Schichtdickenmonitor während der Beschichtung in-situ zu bestimmen.