Hamburg 2001 – scientific programme

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DS: Dünne Schichten

DS 31: Postersitzung

DS 31.58: Poster

Tuesday, March 27, 2001, 16:30–17:30, Foyer Saal 4

Übergangsschichten in den mittels der PLD im Vakuum hergestellten metallischen Doppelschichten — •Alexander Tselev¹, Andre Gorbunov¹, Wolfgang Pompe¹ und Karin Brand² — ¹Institut für Werkstoffwissenschaft, TU-Dresden, 01062 Dresden — ²Institut für Angewandte Physik, TU-Dresden, 01062 Dresden

Konzentrationsprofile der Übergangsschichten (ÜS) in den mittels der PLD im Vakuum hergestellten Doppelschichten Fe/Al wurden untersucht. Eine semiquantitative Analyse wird dabei eingesetzt, die auf den Ergebnissen der HRTEM und den Monte-Carlo-Simulationen basiert. Es wurde festgestellt, dass die Konzentrationsprofile der Übergangsschichten von Al-auf-Fe und Fe-auf-Al Doppelschichten eine asymmetrische Form haben. Die Zusammensetzung ändert sich relativ abrupt auf der Substratseite des Profils, es ist jedoch ein Ausläufer des unten liegenden Materials in das Material der oberen Schicht hinein vorhanden. Die Länge dieses Ausläufers kann mehr als 10 nm erreichen. Solch eine Form des Konzentrationsprofils ist höchstwahrscheinlich ein Resultat ballistischer Effekte. Eine Methode wird vorgeschlagen, die es ermöglicht, die Dicke der ÜS mit einem Schwingquaz-Schichtdickenmonitor während der Beschichtung in-situ zu bestimmen.