Hamburg 2001 – wissenschaftliches Programm
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DY: Dynamik und Statistische Physik
DY 46: Poster
DY 46.50: Poster
Donnerstag, 29. März 2001, 15:45–18:15, Foyer S\ 3
Amorphes Schichtwachstum: Effekte von Dichteinhomogenitäten — •Martin Raible, Stefan J. Linz und Peter Hänggi — Theoretische Physik I, Institut für Physik, Universität Augsburg, D-86135 Augsburg
Bei der Untersuchung des Wachstums von amorphen Schichten ist die
Berücksichtigung von
Dichtevariationen in der Modellgleichung [1-2] unabdingbar, um eine
zufriedenstellende
Übereinstimmung mit Experimenten zu erzielen. Frühere Ergebnisse waren
auf den bisher
experimentell zugänglichen Bereich bis zu Schichtdicken von 480nm
beschränkt [3]. Wir
führen jetzt den Vergleich der Modellgleichungen mit und ohne
Dichtevariation auf einer
signifikant längeren Zeitskala des Aufdampfprozesses durch [4].
Insbesondere untersuchen wir
die zeitliche Entwicklung der Korrelationslängen, Rauhigkeiten,
Höhendifferenzkorrelationen
und Höhenprofile und ihr Skalenverhalten. Dies erlaubt neue Vorhersagen
für zukünftige
Experimente. Außerdem wird begründet, daß beim Aufdampfprozeß
entstehende laterale
Spannungen (Grinfeld-Instabilität) keinen signifikanten Einfluß auf das
Oberflächenwachstum
haben.
Dieses Projekt wird gefördert vom Sonderforschungsbereich
„Mathematische Modellierung, Simulation und Verifikation in
materialorientierten Prozessen und intelligenten Systemen“, SFB
438.
M. Raible, S.J. Linz, P. Hänggi, Phys. Rev. E 62, 1691
(2000)
S.J. Linz, M. Raible, P. Hänggi, Lect. Notes in Phys. 557, 473
(2000)
M. Raible, S.G. Mayr, S.J. Linz, M. Moske, P. Hänggi, K. Samwer,
Europhys. Lett. 50, 61
(2000)
M. Raible, S.J. Linz, P. Hänggi, unpublished