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Hamburg 2001 – scientific programme

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HL: Halbleiterphysik

HL 24: Poster II

HL 24.9: Poster

Thursday, March 29, 2001, 10:30–19:00, Rang S\ 3

Photolumineszenzmessungen an Emissionen homogen verteilter Volumendefekte, die im Rahmen der Nuklearen Transmutationsdotierung durch Neutronen induziert wurden. — •Horst Sadowski, Hans Heissenstein und Reinhard Helbig — Lehrstuhl f. Angewandte Physik, Universität Erlangen-Nürnberg

Es wurden niedrig dotierte (ND-NA 1015 cm−3) 4H und 6H SiC Epitaxieschichten mit einer Dicke von 10 - 50µm auf hoch dotierten Substraten (ND-NA 1018 cm−3) zur Dotierung mit Phosphor mit annähernd rein thermischen Neutronenflüssen bestrahlt. Die Fluence thermischer Neutronen lag bei 1-4 x 1019 cm−2 während die Fluence schneller Neutronen etwa 1016 cm−2 betrug (bei Fluencen ab ca. 1018 cm−2 sind diese allein für die Schädigung verantwortlich (1)). An diesen Proben wurden Tief-Temperatur-Photolumineszenzmessungen (TTPL) nahe der Bandkante bei ca. 2 K und im nahen IR bei ca 20K nach der Bestrahlung und nach Ausheilschritten ab 600C durchgeführt. Bei den TTPL-Messungen im sichtbaren Bereich wurde eine Vielzahl von Linien gefunden (ähnlich nach Elektronenbestrahlungen (2)) bis bei Temperaturen über 1000C die von implantierten Proben bekannten Emissionen gemessen wurden. Im IR-Bereich wurden zusätzlich einige bisher nicht beobachtete Emissionslinien gemessen.

(1) H. Heissenstein, H. Sadowski, R. Helbig, Mat. Sci. For., Vol. 338-342, 2000, 853
(2) T. Egilsson, J.P. Bergman, I.G. Ivanov, A. Henry, E. Janzen, Phys. Rev., Vol. B59, 1999, 1956

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