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Hamburg 2001 – wissenschaftliches Programm

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VA: Vakuumphysik und Vakuumtechnik

Mo, 09:30–10:50 R221 VA 1: Vakuumverfahrenstechnik: EUV-Lithografie
Mo, 10:50–12:10 R221 VA 2: Vakuummesstechnik
Mo, 14:00–15:00 R221 VA 3: Vakuummikroelektronik
Mo, 15:00–17:50 R221 VA 4: Große Vakuumsysteme und Beschleuniger
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