Hamburg 2001 – scientific programme
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VA: Vakuumphysik und Vakuumtechnik
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Mon, 09:30–10:50 | R221 | VA 1: Vakuumverfahrenstechnik: EUV-Lithografie |
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Mon, 10:50–12:10 | R221 | VA 2: Vakuummesstechnik |
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Mon, 14:00–15:00 | R221 | VA 3: Vakuummikroelektronik |
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Mon, 15:00–17:50 | R221 | VA 4: Große Vakuumsysteme und Beschleuniger |