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P: Plasmaphysik
P 23: Poster: Plasmatechnologie, Plasma-Wand-Wechselwirkung, Staubige Plasmen, Plasmadiagnostik
P 23.14: Poster
Wednesday, March 20, 2002, 17:40–18:40, HZO Foyer
Phasenaufgelöste emissionsspektroskopische Untersuchung einer kapazitiv gekoppelten Wasserstoff-RF-Entladung — •V. Schulz-von der Gathen1, T. Gans2 und H.F. Döbele1 — 1Universität Essen, Institut für Laser- und Plasmaphysik, 45117 Essen — 2Jetzt: Ruhr-Universität Bochum, Institut für Experimentalphysik V, 44780 Bochum
Ergebnisse zeitaufgelöster Beobachtungen atomarer und molekularer Linien
von Wasserstoff und Edelgasbeimischungen werden vorgestellt. Die axial
aufgelösten Untersuchungen an einer CCRF-Entladung (P= 100 W, p=
10-150 Pa) werden durch eine spezielle CCD-Kamera möglich, welche jeden
RF-Zyklus zur zeitaufgelösten Messung nutzt.
In dieser Entladung wird
die Existenz energiereicher Wasserstoffatome und ihr Einfluß auf die
Spektroskopie gezeigt. Des weiteren wird die Entwicklung neuartiger
Diagnostikmethoden zur Bestimmung bisher unzugänglicher
Stoßabregungskoeffizienten und zur Untersuchung der zeit- und
ortsaufgelösten EEDF beschrieben (siehe Vortrag T. Gans). Dadurch
können mit Hilfe eines zeitaufgelösten Modells für die
Besetzungsdynamik angeregter Zustände bisherige Diskrepanzen bei der
Bestimmung des Dissoziationsgrades (siehe Beitrag S. Starikovskaia) und der
Einfluß von Kaskadenprozessen auf die Bestimmung der Gastemperatur
geklärt werden.
Gefördert von der DFG im Rahmen des SFB 191.