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P: Plasmaphysik

P 23: Poster: Plasmatechnologie, Plasma-Wand-Wechselwirkung, Staubige Plasmen, Plasmadiagnostik

P 23.14: Poster

Mittwoch, 20. März 2002, 17:40–18:40, HZO Foyer

Phasenaufgelöste emissionsspektroskopische Untersuchung einer kapazitiv gekoppelten Wasserstoff-RF-Entladung — •V. Schulz-von der Gathen¹, T. Gans² und H.F. Döbele¹ — ¹Universität Essen, Institut für Laser- und Plasmaphysik, 45117 Essen — ²Jetzt: Ruhr-Universität Bochum, Institut für Experimentalphysik V, 44780 Bochum

Ergebnisse zeitaufgelöster Beobachtungen atomarer und molekularer Linien von Wasserstoff und Edelgasbeimischungen werden vorgestellt. Die axial aufgelösten Untersuchungen an einer CCRF-Entladung (P= 100 W, p= 10-150 Pa) werden durch eine spezielle CCD-Kamera möglich, welche jeden RF-Zyklus zur zeitaufgelösten Messung nutzt.
In dieser Entladung wird die Existenz energiereicher Wasserstoffatome und ihr Einfluß auf die Spektroskopie gezeigt. Des weiteren wird die Entwicklung neuartiger Diagnostikmethoden zur Bestimmung bisher unzugänglicher Stoßabregungskoeffizienten und zur Untersuchung der zeit- und ortsaufgelösten EEDF beschrieben (siehe Vortrag T. Gans). Dadurch können mit Hilfe eines zeitaufgelösten Modells für die Besetzungsdynamik angeregter Zustände bisherige Diskrepanzen bei der Bestimmung des Dissoziationsgrades (siehe Beitrag S. Starikovskaia) und der Einfluß von Kaskadenprozessen auf die Bestimmung der Gastemperatur geklärt werden.
Gefördert von der DFG im Rahmen des SFB 191.