Bochum 2002 – wissenschaftliches Programm
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PV: Plenarvorträge
PV VIII
PV VIII: Plenarvortrag
Mittwoch, 20. März 2002, 14:30–15:15, HZO 30
ICP-Plasmen: Grundlegende Untersuchungen und neue Anwendungen — •Peter Awakowicz1, Peter Scheubert2 und Roland Schwefel1 — 1TU München, Lehrstuhl f. Technische Elektrophysik, Arcistr. 21, 80290 München — 2Haaga GmbH, Mozartstr. 39-41, 73072 Donzdorf
Niederdruck-Niedertemperaturplasmen gewinnen in vielen Bereichen zunehmend an Bedeutung: z.B. in der Mikroelektronik zum anisotropen Ätzen feinster Strukturen oder bei der Abscheidung von dünnen Schichten.
Zu den interessantesten Neuentwicklungen dieser Plasmaquellen ist das induktiv gekoppelte Hochfrequenzplasma mit planarer Antenne zu zählen, da hohe Elektronendichten bei geringen Randschichtspannungen erreicht werden, und die Plasmen über einen weiten Druckbereich problemlos betrieben werden können.
Für die Charakterisierung dieser neuartigen Quellen soll die Anwendung verschiedener Diagnostiken, die Messung mit Langmuirsonden, die optische Spektroskopie sowie die Massen-Energiespektrometrie eng verzahnt werden mit einer geeigneten Simulation, basierend auf einem hydrodynamischen Ansatz für das Plasma und einem elektrodynamischen zur Beschreibung der eingespeisten HF-Energie.
Die Resultate zeigen einerseits eine Fülle von wesentlichen Zusammenhängen zwischen den externen Parametern und den räumlichen Verläufen der gemessenen oder berechneten Plasmaparameter und ermöglichen andererseits die Erstellung von Designregeln zum Aufbau optimierter Quellen.