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DS: Dünne Schichten
DS 2: Elektrische und optische Eigenschaften II
DS 2.6: Talk
Monday, March 11, 2002, 12:15–12:30, HS 31
Gitterverzerrung als Qualitätsmerkmal für ITO-Schichten — •Dieter Mergel und Zhaohui Qiao — Uni Essen, AG Dünnschicht-Technologie, 45117 Essen
Wir haben mit dc-Magnetron Sputtern ITO-Schichten bei verschiedenen Temperaturen und Sauerstoffflüssen hergestellt. Korngröße, Ladungsträgerdichte, Beweglichkeit und Brechungsindex sind stark mit der Gitterverzerrung korreliert. Aus der Literatur sind Modelle bekannt, die obige Parameter paarweise miteinander verknüpfen, z.B. Beweglichkeit mit Korngröße oder Ladungsträgerdichte. Wir zeigen, dass alle Ergebnisse ursächlich auf Zwischengitterdefekte zurückgeführt werden können, die auch die Verzerrung erzeugen.