Regensburg 2002 – wissenschaftliches Programm

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DS: Dünne Schichten

DS 9: SYPO Kurzvortr
äge

Dienstag, 12. März 2002, 11:45–12:30, HS 32

	11:45	DS 9.1	Quantifizierte Teilchenstrahlexperimente niederenergetischer Ionen und thermischer Radikale zur Identifizierung mikroskopischer Wachstums- und Erosionsmechanismen — •Thomas Schwarz-Selinger, Martin Bauer, Christian Hopf, Matthias Meier, Wolfgang Jacob und Achim von Keudell
	12:00	DS 9.2	ULTRADUENNE DLC-SCHUTZSCHICHTEN FÜR KUENFTIGE FESTPLATTENGENERATIONEN — •Dirk Ochs und Bernhard Cord
	12:15	DS 9.3	Wachstum von polykristallinen Si Filmen auf Glas mittels Puls-dc Magnetron Sputtern — •Peter Reinig, Frank Fenske, Burkhardt Selle, Walther Fuhs und Mario Birkholz