Regensburg 2002 – scientific programme
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DS: Dünne Schichten
DS 9: SYPO Kurzvortr
äge
Tuesday, March 12, 2002, 11:45–12:30, HS 32
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11:45 | DS 9.1 | Quantifizierte Teilchenstrahlexperimente niederenergetischer Ionen und thermischer Radikale zur Identifizierung mikroskopischer Wachstums- und Erosionsmechanismen — •Thomas Schwarz-Selinger, Martin Bauer, Christian Hopf, Matthias Meier, Wolfgang Jacob und Achim von Keudell |
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12:00 | DS 9.2 | ULTRADUENNE DLC-SCHUTZSCHICHTEN FÜR KUENFTIGE FESTPLATTENGENERATIONEN — •Dirk Ochs und Bernhard Cord |
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12:15 | DS 9.3 | Wachstum von polykristallinen Si Filmen auf Glas mittels Puls-dc Magnetron Sputtern — •Peter Reinig, Frank Fenske, Burkhardt Selle, Walther Fuhs und Mario Birkholz |