Regensburg 2002 – scientific programme
Parts | Days | Selection | Search | Downloads | Help
SYPO: Plasmaoberflächentechnik – Beschichten, Ätzen und Modifizieren
SYPO V: HV V
Monday, March 11, 2002, 17:15–17:45, HS 32
![]() |
17:15 | SYPO V.1 | Invited Talk: Staubbildung bei der Abscheidung von a-C:H-Filmen — •J. Berndt, S. Hong, E. Kovacevic, I. Stefanovic und J. Winter |