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Regensburg 2002 – scientific programme

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VA: Vakuumphysik und Vakuumtechnik

Mon, 09:30–12:10 H47 VA 1: Vakuumverfahrenstechnik
Mon, 14:30–15:10 H47 VA 2: Große Vakuumsysteme
Mon, 15:10–16:50 H47 VA 3: Vakuummesstechnik
Mon, 16:50–17:10 H47 VA 4: Vakuummikroelektronik
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