Regensburg 2002 – wissenschaftliches Programm
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VA: Vakuumphysik und Vakuumtechnik
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Mo, 09:30–12:10 | H47 | VA 1: Vakuumverfahrenstechnik |
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Mo, 14:30–15:10 | H47 | VA 2: Große Vakuumsysteme |
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Mo, 15:10–16:50 | H47 | VA 3: Vakuummesstechnik |
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Mo, 16:50–17:10 | H47 | VA 4: Vakuummikroelektronik |