Dresden 2003 – wissenschaftliches Programm

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DS: Dünne Schichten

DS 6: Silicidschichten

Montag, 24. März 2003, 11:00–11:45, GER/38

	11:00	DS 6.1	EPITAXIAL GROWTH OF CrSi2 ON SILICON — •Olga Filonenko, A. Mogilatenko, H. Hortenbach, G. Beddies, and H.-J. Hinneberg
	11:15	DS 6.2	Chromsilicid/Silicium-Multilagen — •Daniel Decker, Enrico Loos, Gunter Beddies, Hans-Jürgen Hinneberg, Anna Mogalitenko, Olga Filonenko und Joachim Schumann
	11:30	DS 6.3	In-situ Röntgendiffraktometrie bei der Temperung von Mo-Si-Multilagenschichten — •Anke Köhler, Jürgen W. Gerlach, Yvonne Bohne, Thomas Höche und Thomas Chasse