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Berlin 2005 – scientific programme

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DF: Dielektrische Festkörper

DF 4: Poster

DF 4.8: Poster

Saturday, March 5, 2005, 08:30–16:30, Poster TU C

Messung und Modellanpassung nichtlinearer Eigenschaften einer Metall-Ferroelektrikum-Silizium Struktur — •M. Diestelhorst1, K. Barz1, H. Beige1, B. Mereu2 und M. Alexe21Martin-Luther-Universität Halle-Wittenberg, Fachbereich Physik Friedeman-Bach-Platz 6, Halle, 06108 — 2Max-Planck-Institut für Mikrostrukturphysik, Weinberg 2, Halle, 06120

Untersuchungen an Metall-Ferroelektrikum-Silizium (MFS) Strukturen sollen die Anwendbarkeit eines Modells überprüfen, welches aus der allgemeinen Theorie des MOS-Kondensators abgeleitet wurde. Die untersuchte Probe besteht aus einer 300nm dicken ferroelektrischen Schicht (Bi4Ti3O12), aufgebracht auf der SiO2-Schicht eines p-Si-Wavers. Wird die Probe als nichtlineare Kapazität eines seriellen Schwingkreises verwendet, zeigt sich eine Amplituden-Frequenz-Charakteristik, deren Verlauf mit bestehenden Modellrechnungen verglichen werden soll. Dazu wurden Netzwerkanalysen des Schwingkreises und Kapazitäts- Spannungsmessungen der Probe durchgeführt und ausgewertet.

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