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DF: Dielektrische Festkörper

DF 4: Poster

DF 4.8: Poster

Samstag, 5. März 2005, 08:30–16:30, Poster TU C

Messung und Modellanpassung nichtlinearer Eigenschaften einer Metall-Ferroelektrikum-Silizium Struktur — •M. Diestelhorst¹, K. Barz¹, H. Beige¹, B. Mereu² und M. Alexe² — ¹Martin-Luther-Universität Halle-Wittenberg, Fachbereich Physik Friedeman-Bach-Platz 6, Halle, 06108 — ²Max-Planck-Institut für Mikrostrukturphysik, Weinberg 2, Halle, 06120

Untersuchungen an Metall-Ferroelektrikum-Silizium (MFS) Strukturen sollen die Anwendbarkeit eines Modells überprüfen, welches aus der allgemeinen Theorie des MOS-Kondensators abgeleitet wurde. Die untersuchte Probe besteht aus einer 300nm dicken ferroelektrischen Schicht (Bi₄Ti₃O₁₂), aufgebracht auf der SiO₂-Schicht eines p-Si-Wavers. Wird die Probe als nichtlineare Kapazität eines seriellen Schwingkreises verwendet, zeigt sich eine Amplituden-Frequenz-Charakteristik, deren Verlauf mit bestehenden Modellrechnungen verglichen werden soll. Dazu wurden Netzwerkanalysen des Schwingkreises und Kapazitäts- Spannungsmessungen der Probe durchgeführt und ausgewertet.