Berlin 2005 – scientific programme
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HL: Halbleiterphysik
HL 17: Poster Ib
HL 17.51: Poster
Friday, March 4, 2005, 16:30–19:00, Poster TU F
MOVPE-Darstellung freistehender AIIIBV-Nanodrähte — •Jens Bauer1, Volker Gottschalch1, Helmut Herrnberger2 und Gerald Wagner2 — 1Universität Leipzig, Institut für Anorganische Chemie, Linnéstraße 3, 04103 Leipzig — 2Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung e.V., Permoserstr. 15, 04303 Leipzig
Halbleitende Nanostrukturen bilden die Grundlage für neuartige optoelektronische Bauelemente. Dabei nehmen freistehende Nanodrähte eine Hauptrolle ein, da Heterostrukturen integriert werden können und die Morphologie der Nanodrähte eine einfache Kontaktierung erlaubt. Im Bereich einiger Nanometer lassen sich Quanteneffekte ausnutzen. Im Beitrag werden die Arbeiten zur Darstellung freistehender AIIIBV-Nanodrähte mittels Metallorganischer Gasphasenepitaxie (MOVPE) in einem „bottom-up“-Prozess vorgestellt. Die Grundzüge des Nanodrahtwachstums beruhen auf dem für Elementhalbleiter bekannten „vapor-liquid-solid“ (VLS)-Wachstumsprozess, der für AIIIBV-Halbleiter und die MOVPE einiger Modifikationen bedarf. Es werden Untersuchungen zur Substratpräparation mit Goldpartikeln vorgestellt und der Einfluss von Wachstumsparametern (Temperatur, Partialdrücke, Wachstumszeit) auf die Realstruktur diskutiert. Schließlich wird auf erste Ergebnisse zur physikalischen Charakterisierung der Nanodrähte eingangen.