Berlin 2005 – scientific programme

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HL: Halbleiterphysik

HL 49: Photonische Kristalle II

HL 49.8: Talk

Tuesday, March 8, 2005, 12:30–12:45, TU P164

Herstellung von Metamaterialien mit magnetischer Resonanz für den Telekommunikationsbereich — •C. Enkrich^1,2, F. Perez-Willard^2,3, S. Linden⁴, M. Wegener^1,2,3, J. Zhou⁵, T. Koschny⁵ und C. M. Soukoulis⁵ — ¹Institut für Angewandte Physik, Universität Karlsruhe (TH), 76128 Karlsruhe, Germany — ²DFG-Center for Functional Nanostructures (CFN), Universität Karlsruhe (TH), 76128 Karlsruhe, Germany — ³Laboratorium für Elektronenmikroskopie, Universität Karlsruhe (TH), 76128 Karlsruhe, Germany — ⁴Institut für Nanotechnologie, Forschungszentrum Karlsruhe in der Helmholtz-Gemeinschaft, 76021 Karlsruhe, Germany — ⁵Ames Laboratory and Department of Physics and Astronomy, Iowa State Univerisity, Ames, Iowa 50011, U.S.A.

Durch Nanostrukturierung lassen sich Metamaterialien auf der Basis von periodisch angeordneten LC-Schwingkreisen mit magnetischer Resonanz bei Telekommunikationswellenlängen herstellen. Voraussetzung hierfür sind moderne Herstellungsverfahren, die eine minimale Strukturgröße kleiner als 60 nm ermöglichen. Wir haben eine neue Methode getestet, bei der die Proben mit Hilfe eines ”Focused Ion Beam Systems” nanostrukturiert werden. Diese bietet gegenüber der Elektronenstrahl-Lithographie [1] den Vorteil, dass das Ergebnis der Strukturierung direkt untersucht und optimiert werden kann (”Rapid Prototyping”). Mit diesem Verfahren wurden Strukturen mit Resonanzwellenlängen unterhalb 1,5 µ m hergestellt und die Abhängigkeit von verschiedenen Geometrieparametern untersucht.

[1] S. Linden et al., Science, 306 (2004)