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P: Plasmaphysik
P 3: Diagnostik 1
Friday, March 4, 2005, 11:00–12:30, HU 3059
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11:00 | P 3.1 | Fachvortrag: Massenspektrometrie an reaktiven Plasmen — •Thomas Schwarz-Selinger |
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11:30 | P 3.2 | Study of plasma parameters in a HMDSO-containing RF discharge — •Jens Matheis, Christian Oehr, and Achim Lunk |
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11:45 | P 3.3 | Einsatz eines Rubinlasers für die thermische Desorption von a-C:H-Schichten — •F. Irrek, V. Philipps, B. Schweer, G. Sergienko und U. Samm |
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12:00 | P 3.4 | Messungen gestörter Ionenenergieverteilungsfunktionen — •Albrecht Stark, Olaf Grulke und Thomas Klinger |
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12:15 | P 3.5 | Untersuchungen von Mikrowellen-angeregten Plasmen mit Laser-induzierter Fluoreszenz — •Ulrich Stopper, Peter Lindner und Uwe Schumacher |