Berlin 2005 – wissenschaftliches Programm

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P: Plasmaphysik

P 3: Diagnostik 1

Freitag, 4. März 2005, 11:00–12:30, HU 3059

	11:00	P 3.1	Fachvortrag: Massenspektrometrie an reaktiven Plasmen — •Thomas Schwarz-Selinger
	11:30	P 3.2	Study of plasma parameters in a HMDSO-containing RF discharge — •Jens Matheis, Christian Oehr, and Achim Lunk
	11:45	P 3.3	Einsatz eines Rubinlasers für die thermische Desorption von a-C:H-Schichten — •F. Irrek, V. Philipps, B. Schweer, G. Sergienko und U. Samm
	12:00	P 3.4	Messungen gestörter Ionenenergieverteilungsfunktionen — •Albrecht Stark, Olaf Grulke und Thomas Klinger
	12:15	P 3.5	Untersuchungen von Mikrowellen-angeregten Plasmen mit Laser-induzierter Fluoreszenz — •Ulrich Stopper, Peter Lindner und Uwe Schumacher