Hannover 2010 – wissenschaftliches Programm

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P: Fachverband Plasmaphysik

P 1: Plasmatechnology

Montag, 8. März 2010, 14:00–16:25, B 302

	14:00	P 1.1	Fachvortrag: Simulation des Plamajet-Hochratenätzens von massivem Quarzglas — •Johannes Meister und Thomas Arnold
	14:25	P 1.2	Optimierung von Barriereschichten mittels Substratbias — •Evelyn Häberle, Jochen Kopecki, Andreas Schulz, Matthias Walker, Ulrich Stroth, Andreas Mutzke und Ralf Schneider
	14:40	P 1.3	Lokale Abscheidung von Siliziumoxidschichten mittels atmosphärischen Plasmajets — •Manuela Janietz und Thomas Arnold
	14:55	P 1.4	Construction and Characterization of Micro Plasma Jet for Thin Film Deposition on Capillary. — •Ramasamy Pothiraja, Nikita Bibinov, Philipp Mertmann, and Peter Awakowicz
	15:10	P 1.5	Ätzmechanismen bei der Bearbeitung von SiC mittels atmosphärischer Plasmajets — •Inga-Maria Eichentopf und Thomas Arnold
	15:25	P 1.6	Filamentary and homogeneous DBD modes for human skin treatment:Discharge characterization and simulation of surface irradiation — •Priyadarshini Rajasekaran, Philipp Mertmann, Nikita Bibinov, Dirk Wandke, Wolfgang Vioel, and Peter Awakowicz
	15:40	P 1.7	Untersuchungen zur Aufladung und Abscheidung von polydispersen Aerosolen durch Barrierenentladungen — •Abdelali Bougoutaya, Siegfried Müller und Tila Krüger
	15:55	P 1.8	Beladung und Plasmaregeneration von mineralischen Gasadsorbern — •Tila Krüger, Siegfried Müller und Abdelali Bougoutaya
	16:10	P 1.9	Removal of volatile organic compound using a multi stage packed bed reactor under atmospheric conditions — •Marko Hübner, Olivier Guaitella, Antoine Rousseau, and Jürgen Röpcke