Berlin 2014 – scientific programme

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16:30	P 18.1	Dissoziation von CO₂ in einem Mikrowellenplasmabrenner — •Martina Leins, Jochen Kopecki, Waldo Bongers, Adelbert Goede, Martijn Graswinckel, Andreas Schulz, Matthias Walker, Thomas Hirth und Richard van de Sanden

16:30	P 18.2	Plasma etch requirements for technological preparation of sensor components for biochemical analysis — •Harald Richter, David Stolarek, Mirko Fraschke, Steffen Marschmeyer, Jürgen Drews, Lars Zimmermann, Matthias Jäger, Jürgen Bruns, and Bernd Tillack

16:30	P 18.3	Machbarkeitsstudie zur PECVD von Parylenschichten — •Erik v. Wahl, Maik Fröhlich und Holger Kersten

16:30	P 18.4	Großflächige Hochrateabscheidung von Kratzschutzschichten auf Polycarbonat mittels Mikrowellen-PECVD — •Stefan Merli, Andreas Schulz, Matthias Walker, Ulrich Stroth und Thomas Hirth