P 18: Poster Session - Plasma Technology
Mittwoch, 19. März 2014, 16:30–18:30, SPA Foyer
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16:30 |
P 18.1 |
Dissoziation von CO2 in einem Mikrowellenplasmabrenner — •Martina Leins, Jochen Kopecki, Waldo Bongers, Adelbert Goede, Martijn Graswinckel, Andreas Schulz, Matthias Walker, Thomas Hirth und Richard van de Sanden
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P 18.2 |
Plasma etch requirements for technological preparation of sensor components for biochemical analysis — •Harald Richter, David Stolarek, Mirko Fraschke, Steffen Marschmeyer, Jürgen Drews, Lars Zimmermann, Matthias Jäger, Jürgen Bruns, and Bernd Tillack
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16:30 |
P 18.3 |
Machbarkeitsstudie zur PECVD von Parylenschichten — •Erik v. Wahl, Maik Fröhlich und Holger Kersten
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16:30 |
P 18.4 |
Großflächige Hochrateabscheidung von Kratzschutzschichten auf Polycarbonat mittels Mikrowellen-PECVD — •Stefan Merli, Andreas Schulz, Matthias Walker, Ulrich Stroth und Thomas Hirth
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