Bereiche | Tage | Auswahl | Suche | Aktualisierungen | Downloads | Hilfe
SYOT: Symposium Plasma und Optische Technologien
SYOT 2: Verbund PluTO: Plasma und optische Technologien
Dienstag, 18. März 2014, 10:40–12:50, SPA Kapelle
![]() |
10:40 | SYOT 2.1 | Hauptvortrag: Plasma und optische Technologien: PluTO — •Ralf Peter Brinkmann |
![]() |
11:20 | SYOT 2.2 | Hauptvortrag: Charakterisierung von Prozessen zur plasma-ionengestützten Schichtabscheidung — •Jens Harhausen, Rüdiger Foest, Detlef Loffhagen und Andreas Ohl |
![]() |
11:50 | SYOT 2.3 | Hauptvortrag: Plasma-ionengestützte Abscheidung von Hafnium- und Tantaloxidschichten unter Nutzung von Xenon und Argon als Arbeitsgas — •Olaf Stenzel, Steffen Wilbrandt, Ralph Schlegel und Norbert Kaiser |
![]() |
12:20 | SYOT 2.4 | Hauptvortrag: IBS: Praxis und Modellierung — •Henrik Ehlers |