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SYOT: Symposium Plasma und Optische Technologien

SYOT 2: Verbund PluTO: Plasma und optische Technologien

Dienstag, 18. März 2014, 10:40–12:50, SPA Kapelle

	10:40	SYOT 2.1	Hauptvortrag: Plasma und optische Technologien: PluTO — •Ralf Peter Brinkmann
	11:20	SYOT 2.2	Hauptvortrag: Charakterisierung von Prozessen zur plasma-ionengestützten Schichtabscheidung — •Jens Harhausen, Rüdiger Foest, Detlef Loffhagen und Andreas Ohl
	11:50	SYOT 2.3	Hauptvortrag: Plasma-ionengestützte Abscheidung von Hafnium- und Tantaloxidschichten unter Nutzung von Xenon und Argon als Arbeitsgas — •Olaf Stenzel, Steffen Wilbrandt, Ralph Schlegel und Norbert Kaiser
	12:20	SYOT 2.4	Hauptvortrag: IBS: Praxis und Modellierung — •Henrik Ehlers