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Hamburg 2016 – wissenschaftliches Programm

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T: Fachverband Teilchenphysik

T 30: Halbleiterdetektoren II (Pixel)

T 30.6: Vortrag

Montag, 29. Februar 2016, 18:00–18:15, VMP8 HS

Bumpbonding-Verbindungstechnologien für das CMS Phase I Upgrade und die Forschung und Entwicklung neuer DetektorenTobias Barvich1, Thomas Blank2, Michele Caselle2, Fabio Colombo1, Benedikt Freund1, Stefan Heindl1, Ulrich Husemann1, •Simon Kudella1, Hans Jürgen Simonis1, Pia Steck1, Marc Weber2 und Thomas Weiler11Institut für Experimentelle Kernphysik (IEKP), KIT — 2Institut für Prozessdatenverarbeitung und Elektronik (IPE), KIT

Die Konsolidierung des LHCs (13 TeV Kollisionsenergie) und die geplanten Erhöhung der instantanen Luminosität auf 2· 1034 cm−2s−1 stellen erhöhte Anforderungen an den CMS-Siliziumspurdetektor und machen ein Upgrade und einen Austausch des CMS-Pixeldetektors zum Jahresende 2016 notwendig. Als eines von fünf Produktionszentren für den neuen Pixeldetektor des CMS-Phase-I-Upgrades produziert das KIT 50 % der für die vierte Lage des Barrelbereichs benötigten Pixelmodule. Zentraler Bestandteil ist der Bumpbonding-Prozess, der für diese Produktion am KIT entwickelt wurde und hier vorgestellt und evaluiert wird. Parallel zur Produktion für das Phase-I-Upgrade beteiligt sich das KIT an der Detektorentwicklung für das CMS-Phase-II-Upgrade und stellt mit seinem Goldstud-Bumpbonding-Prozess eine schnelle, günstige und flexible Bumpbonding-Verbindungstechnologie für die Entwicklung von Pixel- und Makropixeldetektoren. Auch dieser Prozess wird hier vorgestellt und evaluiert.

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